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平面伺服馬達(dá)LMSP
平面伺服馬達(dá)藉由空氣軸承并整合位置感測(cè)器，可于單一定子上放置多顆動(dòng)子。 ? 雙軸定位平臺(tái) ? 整合位置感測(cè)器可作閉回路控制 ? 采用空氣軸承故無(wú)磨耗 ? 磁場(chǎng)不外漏，不影響周?chē)O(shè)備 ? 無(wú)溫升問(wèn)題，系統(tǒng)精度相對(duì)穩(wěn)定 ? 可倒吊安裝 0.001mm 重現(xiàn)精度 定子大面積 1000x1000mm 0.001mm 高分辨率
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